ハイブリッド集積に向けたAr-FAB表面活性化接合法のInP/Si接合特性の検討 投稿日 : 2018年9月1日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab 永坂 久美, 鈴木 純一, 御手洗 拓矢, 王 雨寧, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久. 第65回応用物理会春季学術講演会, 19a-B203-3, Mar. 2018.
ハイブリッド集積に向けたAr-FAB表面活性化接合法のInP/Si接合特性の検討 投稿日 : 2018年9月1日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab 永坂 久美, 鈴木 純一, 御手洗 拓矢, 王 雨寧, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久. 第65回応用物理会春季学術講演会, 19a-B203-3, Mar. 2018.
