フォトニック結晶構造を用いた半導体薄膜光検出器におけるテーパ構造の検討

齋藤 孝一, 雨宮 智宏, 鄭 叙, 中村 なぎさ, 西山 伸彦, 荒井 滋久. 第66回応用物理会春季学術講演会, 11p-W611-10, Mar. 2019.