III-V/Siハイブリッド部分直接接合における非破壊接合状況確認法の提案

白 柳, 菊地 健彦, 鈴木 純一, 永坂 久美, 西山 伸彦, 八木 英樹, 雨宮 智宏, 荒井 滋久. 第65回応用物理会春季学術講演会, 18p-B201-2, Mar. 2018.