UV-NIL process using a polymer master mold fabricated by grayscale lithography and profile evaluation

投稿日 : 2026年7月16日カテゴリー : タグ : 投稿者 : amemiya-lab

S. Nagamatsu, T. Maekawa, L. Xiang, J. Lee, K. Otsuka, H. Miyao, T. Amemiya, 25th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2026), 15A-6-3, Oct. 2026.