Investigation of bonding interface and strain characteristics in surface activated bonding assisted by Si-nano film 投稿日 : 2020年5月1日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab W. Fang, N. Takahashi, Y. Ohiso, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama. 第67回応用物理会春季学術講演会, 15p-B508-6, Mar. 2020.
Investigation of bonding interface and strain characteristics in surface activated bonding assisted by Si-nano film 投稿日 : 2020年5月1日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab W. Fang, N. Takahashi, Y. Ohiso, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama. 第67回応用物理会春季学術講演会, 15p-B508-6, Mar. 2020.
