KEYENCE VHX-D510

試料表面に電子線を照射し、反射した電子線を像として観察する装置。試料室内を真空状態にし、超深度レンズにより試料を撮影します。光学レンズと超深度レンズの画像を合成し、精細な画像を得ることが可能です。