SAMCO RIE-10NR

Si、SiO₂、InPなどの各種薄膜の異方性加工を目的とした平行平板型反応性イオンエッチング (RIE: Reactive Ion Etching) 装置です。本装置は、PLCコントロールによる自動運転およびプロセスパラメータの保存ができるコストパフォーマンスに優れたRIE装置です。