JEOL JIB-4501

熱電子銃形SEMと高性能イオンカラムを搭載した複合ビーム加工観察装置です。SEMとして試料表面の観察に加えて、FIBにより局所的に断面加工した後にSEM観察することで内部の観察・元素分析を行うことができます。またFIBによる微細加工やTEM薄膜試料を作製することができます。