ICPエッチング装置 投稿日 : 2023年10月1日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab SAMCO ICP-101RF 放電形式に誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma)を採用しており、高密度プラズマを安定して生成し、高精度の加工が可能です。
ICPエッチング装置 投稿日 : 2023年10月1日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab SAMCO ICP-101RF 放電形式に誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma)を採用しており、高密度プラズマを安定して生成し、高精度の加工が可能です。