HITACHI Regulus8230

電子光学系の最適化により、照射電圧1 kV での分解能を従来機種から約 20％向上させ、0.9 nmまでの分解能を実現しています。加えて、低加速電圧での高分解能観察に最も適したコールド FE 電子銃の特性を活かし、最大倍率を 200 万倍まで拡張することで、高品質画像にて細部まで拡大観察することが可能となっています。