HORIBA LabRAM HR-PL

非破壊、非接触による、化合物半導体（ワイドギャップ半導体からナローギャップ半導体まで）のバンドギャップ評価、組成評価、欠陥評価、量子井戸の評価、不純物評価、結晶性評価などが行えます。紫外・可視・近赤外の領域すべてにおいてアレイ検出器を採用でき、高速測定が可能となりウェハマッピングを短時間で取得できます。