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有機金属気相成長装置

大陽日酸 HR-3246 原子層レベルで制御された超格子の成長が可能であり、半導体レーザをはじめとする光デバイスの元ウェハを作製できます。2インチInP ウェハ対応。III族材料:TEG, TMG, TMA, TMI, …