EVG 620NT

マイクロ・ナノスケール構造を生産するために必要な高い性能、低コスト、そして量産に対応するソフトUVナノインプリント装置です。多目的ポリマースタンプ技術を備えた独自のSmartNIL テクノロジーを有し、残膜を最小限にしつつ、高度なパターニングの再現性と均一性を保持します。