ハイブリッド集積に向けたDirect Transfer Bondingによる接合位置精度の検討 投稿日 : 2021年8月26日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab 小野寺 広夢, 菊池 健彦, 大礒 義孝, 雨宮 智宏, 西山 伸彦. 第82回応用物理学会秋季学術講演会, 10p-N405-10, Sep. 2021.
ハイブリッド集積に向けたDirect Transfer Bondingによる接合位置精度の検討 投稿日 : 2021年8月26日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab 小野寺 広夢, 菊池 健彦, 大礒 義孝, 雨宮 智宏, 西山 伸彦. 第82回応用物理学会秋季学術講演会, 10p-N405-10, Sep. 2021.
