引張り歪層によるSi基板上InP小片接合界面の垂直応力抑制

菊地 健彦, 白 柳, 御手洗 拓矢, 八木 英樹, 新田 俊之, 古川 将人, 雨宮 智宏, 西山 伸彦. 第80回応用物理学会秋季学術講演会, 19p-E206-9, Sep. 2019.