表面活性化接合を用いたIII–V/SOIハイブリッド光デバイスにおけるIII–V層部分エッチングプロセスの検討 投稿日 : 2014年9月26日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab 鈴木 純一, 林 侑介, 久能 雄輝, 姜 晙炫, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久. 第75回秋季応用物理学会学術講演会, 18a-A18-3, Sep. 2014.
表面活性化接合を用いたIII–V/SOIハイブリッド光デバイスにおけるIII–V層部分エッチングプロセスの検討 投稿日 : 2014年9月26日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab 鈴木 純一, 林 侑介, 久能 雄輝, 姜 晙炫, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久. 第75回秋季応用物理学会学術講演会, 18a-A18-3, Sep. 2014.
