CMOSプロセスを利用したSi導波路型 反射率可変ミラーの作製と評価

槇原 豊, Moataz Eissa, 御手洗 拓矢, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 庄司 雄哉, 鈴木 恵治郎, 鴻池 遼太郎, 岡野 誠, 池田 和浩, 水本 哲弥. 電子情報通信学会 2020年ソサイエティ大会, C-3/4-40, Sep. 2020.