Design of apodized hydrogenated amorphous silicon grating couplers with metal mirrors for inter-layer signal coupling: Toward three-dimensional optical interconnection

投稿日 : 2015年3月24日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab

Y. Kuno, J. Kang, Y. Hayashi, J. Suzuki, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 54, No. 4S, 04DG04.