Development of silicon photonics process using UV nanoimprinting
投稿日 : 2025年1月13日カテゴリー : タグ : 投稿者 : amemiya-lab
S. Nagamatsu, R. Mori, Y. Fujii, T. Asai, Y. Atsumi, D. Shioda, N. Nishiyama, T. Amemiya, SPIE Photonics West, Silicon Photonics XX, 13371-42, Jan. 2025.