Gas Species Comparison of Fast Atom Beam Irradiation to Photoluminescence Properties of GaInAs/InP layers for Surface Activated Bonding

投稿日 : 2018年11月30日カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab

Yuning Wang, Takuya Mitarai, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai. 第79回応用物理学会秋季学術講演会, 18a-232-9, Sep. 2018.