InGaAsナノシートトランジスタの作製

金澤 徹, 大澤 一斗, 雨宮 智宏, 木瀬 信和, 青沼 遼介, 宮本 恭幸. 第65回応用物理会春季学術講演会, 18a-G203-3, Mar. 2018.