InP/Si Chip-on-Waferプラズマ活性化接合における加重依存性の検討 投稿日 : 2018年11月29日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab ⽩ 柳, 菊地 健彦, ⻄⼭ 伸彦, ⼋⽊ 英樹, ⾬宮 智宏, 荒井 滋久. 第79回応用物理学会秋季学術講演会, 18p-212A-5, Sep. 2018.
InP/Si Chip-on-Waferプラズマ活性化接合における加重依存性の検討 投稿日 : 2018年11月29日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab ⽩ 柳, 菊地 健彦, ⻄⼭ 伸彦, ⼋⽊ 英樹, ⾬宮 智宏, 荒井 滋久. 第79回応用物理学会秋季学術講演会, 18p-212A-5, Sep. 2018.
