Investigation of III-V Layer Removing Process in III-V/SOI Hybrid Devises

投稿日 : 2014年9月26日カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab

J. Suzuki, Y. Hayashi, Y. Kuno, J. Kang, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai, 4th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC 2014), P-9, Nov. 2014.