Membrane-based GaInAs/InP waveguide-type p-i-n photodetector fabricated on Si substrate using Benzocyclobutene bonding

投稿日 : 2017年9月25日カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab

Z. Gu, T. Uryu, D. Inoue, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai, 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017), H-6-02, Sep. 2017.