SiNx 光導波路集積ダイヤモンドセンサ構造の設計

大礒 義孝, 横村 優太, 西山 伸彦, 丸山 武男, 雨宮 智宏, 岩﨑 孝之, 波多野 睦子. 第81回応用物理学会秋季学術講演会, 9p-Z19-3, Sep. 2020.