Thermal resistance reduction of membrane FP laser bonded by a-Si nano-film assisted surface activated bonding 投稿日 : 2021年10月1日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab W. Fang, N. Takahashi, Y. Ohiso, T. Amemiya, N. Nishiyama. 第82回応用物理学会秋季学術講演会, 10p-N405-2, Sep. 2021.
Thermal resistance reduction of membrane FP laser bonded by a-Si nano-film assisted surface activated bonding 投稿日 : 2021年10月1日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab W. Fang, N. Takahashi, Y. Ohiso, T. Amemiya, N. Nishiyama. 第82回応用物理学会秋季学術講演会, 10p-N405-2, Sep. 2021.
