UVナノインプリントリソグラフィによるシリコン光回路作製技術の開発

永松 周, 雨宮 智宏, 森 莉紗子, 藤井 恭, 浅井 隆宏, 岡田 祥, 渥美 裕樹, 塩田 大, 西山 伸彦, 第72回応用物理学会春季学術講演会, 16a-K305-1, Mar. 2025.