UVナノインプリントリソグラフィを用いた大面積集積フォトニクスプロセスの開発

雨宮 智宏, 岡田 祥, 高橋 直樹, 佐々木 龍耶, 堀川 剛, 渥美 裕樹, 小田 悠貴, 原 悠太, 野田 真司, 山本 宏, Thomas Uhrmann, Andrea Kneidinger, 森 莉紗子, 藤井 恭, 浅井 隆宏, 塩田 大, 西山 伸彦, 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 20p-A201-6, Sep. 2023.