InP/SiO2/Si Surface Activated Bonding Assisted by Si Nano-Film

投稿日 : 2019年12月25日カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab

W. Fang, Y. Wang, T. Amemiya, N. Nishiyama, 9th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC 2019), P-03, Nov. 2019.