Investigation of High Temperature Process for III-V/SOI Hybrid Photonic Devices with AlInAs Oxidation Current Confinement Layer

投稿日 : 2014年9月26日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab

Y. Hayashi, J. Suzuki, Y. Kuno, J. Kang, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai, 4th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D 2014), Jul. 2014.