導波路に向けた屈折率自由度を持つSiONの成膜条件の検討 投稿日 : 2022年10月26日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab 山口 圭太, Eissa Moataz, 大礒 義孝, 雨宮 智宏, 西山 伸彦. 第83回応用物理学会秋季学術講演会, 21p-A205-17, Sep. 2022.
導波路に向けた屈折率自由度を持つSiONの成膜条件の検討 投稿日 : 2022年10月26日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab 山口 圭太, Eissa Moataz, 大礒 義孝, 雨宮 智宏, 西山 伸彦. 第83回応用物理学会秋季学術講演会, 21p-A205-17, Sep. 2022.
