異種材料集積光回路に向けた大気圧プラズマによる半導体親水化の検討

日原 弘喜, Moataz Eissa, 山口 圭太, 小野寺 広夢, 大磯 義孝, 雨宮 智宏, 沖野 晃俊, 西山 伸彦. 第83回応用物理学会秋季学術講演会, 21p-A205-18, Sep. 2022.