Si/SiON/SiO2ダブルクラッド型スポットサイズコンバータのSiON屈折率変化における結合効率の向上の検討

山口 圭太, 槇原 豊, 王 羽端, 大礒 義孝, 雨宮 智宏, 西山 伸彦. 第69回応用物理会春季学術講演会, 22a-E303-4, Mar. 2022.