Si細線導波路とトポロジカル伝送路間の高効率な結合へ向けたテーパ構造の作製・評価

各務 響, 雨宮 智宏, 岡田 祥, 西山 伸彦, 胡 暁. 第81回応用物理学会秋季学術講演会, 10p-Z18-12, Sep. 2020.