Investigation of Photoluminescence property of InP/SOI wafer after bonding experiment using Surface Activated Bonding based on Fast Atom Beam

投稿日 : 2019年11月26日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab

Yuning Wang, Moataz Eissa, Takuya Mitarai, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama. 第80回応用物理学会秋季学術講演会, 20a-E215-3, Sep. 2019.