InGaAsナノシートチャネルを持つマルチゲートMOSFETに向けた作製プロセス開発

⼤澤 ⼀⽃, ⾦澤 徹, ⽊瀬 信和, ⾬宮 智宏, 宮本 恭幸. 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 8a-S22-2, Sep. 2017.