III-V/SOIハイブリッドデバイスのSi導波路結合器部のテーパ先端幅許容度向上に向けた検討

鈴木 純一, 永坂 久美, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久. 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 7a-A504-1, Sep. 2017.