表面活性化接合に向けたAr-FAB照射によるGaInAs/InPウェハのPL特性への影響評価 投稿日 : 2017年10月31日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab 永坂 久美, 鈴木 純一, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久. 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 7a-A504-11, Sep. 2017.
表面活性化接合に向けたAr-FAB照射によるGaInAs/InPウェハのPL特性への影響評価 投稿日 : 2017年10月31日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab 永坂 久美, 鈴木 純一, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久. 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 7a-A504-11, Sep. 2017.
