HfO2パッシベーションによるHfS2 FETの特性改善

金澤 徹,Vikrant Upadhyaya,雨宮 智宏,石川 篤,鶴田 健二,田中 拓男,宮本 恭幸. 第77回応用物理学会秋季学術講演会, 16a-A32-3, Sep. 2016.