MOVPE法によるInGaAs/InAlAs FACQWの作製と位相変調特性評価

長谷川 亮, 雨宮 智宏, 荒川 太郎, 種村 拓夫, 清水 大雅, 杉山 正和, 多田 邦雄, 中野 義昭. 第55回春季応用物理学関係連合講演会, 29a-ZG-5, 2008.