半導体薄膜光集積に向けたOMVPEによるGaInAsPのButt-Joint再成長

井上 大輔, 李 智恩, 進藤 隆彦, 二見 充輝, 土居 恭平, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久. 第60回応用物理学関係連合講演会, 29p-B4-6, Mar. 2013.