光バッファ素子構造、その製造方法、およびその解析方法

雨宮 智宏, 庄司 雄哉, 荒井 滋久, 金澤 徹. 西山 伸彦, 水本 哲弥(東京工業大学), 特願2016-164148, 特開2018-31896.