NIL process using a photopolymer master mold fabricated by grayscale lithography

投稿日 : 2026年1月7日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : amemiya-lab

S. Nagamatsu, T. Maekawa, L. Xiang, J. Lee, H. Miyao, K. Otsuka, T. Amemiya, SPIE Photonics West 2026, Paper 13821-4, Jan. 2026.