High-quality, room-temperature, surface-activated bonding of GaInAsP/InP membrane structure on silicon 投稿日 : 2020年6月1日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab W. Fang, N. Takahashi, Y. Ohiso, T. Amemiya, N. Nishiyama, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 59, 060905.
High-quality, room-temperature, surface-activated bonding of GaInAsP/InP membrane structure on silicon 投稿日 : 2020年6月1日 カテゴリー : タグ : 投稿者 : titech-amamiya-lab W. Fang, N. Takahashi, Y. Ohiso, T. Amemiya, N. Nishiyama, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 59, 060905.