レーザー描画装置

Heidelberg DWL 66+

他の追随を許さない多用途性、プロ仕様のグレースケール機能、そして市販されているどの直接描画レーザーシステムよりも高い解像度を提供します。最小フィーチャーサイズ200 nmの高解像度モードを有し、65,536レベルのグレースケール露光が可能です。