JEOL JBX-6300FS

加速電圧50/100kV、直径3nm以下のビームを自動調整する電子光学系により、最小線幅8nmのパターンが描画できます。9nm以下のフィールド接合精度、重ね合わせ精度を実現。各露光基板形状に基づいたモンテカルロシミュレーションによって点拡がり関数(PSF)を導出でき、得られたPSFに基づく近接効果補正が可能なソフトウェア（GenISys Beamer）も使用できます。