分析
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走査型プローブ顕微鏡
SHIMADZU SPM-9700HT 試料表面を微小なプローブ(探針)で走査し、試料の三次元形状や局所的物性を高倍率で観察する顕微鏡です。ハイスループット観察が可能です。
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触針式プロファイラ
TENCOR P-7 優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価することができます。
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卓上電子顕微鏡
KEYENCE VHX-D510 試料表面に電子線を照射し、反射した電子線を像として観察する装置。試料室内を真空状態にし、超深度レンズにより試料を撮影します。光学レンズと超深度レンズの画像を合成し、精細な画像を得ることが…
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デジタルマイクロスコープ
HYROX HR-5000 テレセントリックズームレンズ搭載。パソコンと接続して使用する5Mカメラ、4K解像度対応。対象物をステージに載せれば、スタンド、レンズに触れることなく、観察が可能です。
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デジタルマイクロスコープ/レーザ元素分析
KEYENCE EA-300 4K画質に対応した光学性能の限界に迫る高分解能HRレンズの搭載で、より低ノイズで深い被写界深度と高分解能を両立します。元素分析ヘッドを搭載し、マイクロスコープで観察しながら、そのまま元素分析…
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デジタルマイクロスコープ
KEYENCE VHX-7000 4K CMOSの採用により、約1200万画素の最高解像度を有します。4K画質に対応した光学性能の限界に迫る高分解能HRレンズの搭載で、より低ノイズで深い被写界深度と高分解能を両立します。
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複合ビーム加工観察装置
JEOL JIB-4501 熱電子銃形SEMと高性能イオンカラムを搭載した複合ビーム加工観察装置です。SEMとして試料表面の観察に加えて、FIBにより局所的に断面加工した後にSEM観察することで内部の観察・元素分析を行う…
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電界放出形走査電子顕微鏡
HITACHI Regulus8230 電子光学系の最適化により、照射電圧1 kV での分解能を従来機種から約 20%向上させ、0.9 nmまでの分解能を実現しています。加えて、低加速電圧での高分解能観察に最も適したコー…
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フォトニックバンド顕微鏡
東京インスツルメンツ FA・CEED 赤外ハイパースペクトルイメージングにより、波長ごとのフーリエ画像を得た後、それらの画像をもとにフォトニックバンドダイアグラムを再構成しています。そのため、非常に高速かつ汎用的な測定が…
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顕微フォトルミネッセンス測定装置
HORIBA LabRAM HR-PL 非破壊、非接触による、化合物半導体(ワイドギャップ半導体からナローギャップ半導体まで)のバンドギャップ評価、組成評価、欠陥評価、量子井戸の評価、不純物評価、結晶性評価などが行えます…