有機金属気相成長装置

エピクエスト SVシリーズ SVシリーズは、優れたシミュレーション技術と長年の経験から最適設計された縦型石英リアクタを採用しています。GaAs系・InP系材料において30年以上の歴史があり、均一性・再現性・急峻性に優れま…