JEOL BS series

研究開発に適した電子ビーム蒸着装置です。様々なオプション機構を追加することで幅広い用途に使用可能です。蒸着源は、電子ビーム蒸着源（電子銃）、ボンバード蒸着源、抵抗加熱蒸着源を選択できます。